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本发明公开了用于激光相控扫描的芯片式光学天线及其制作方法，所述光学天线包括衬底和弯曲光波导，所述弯曲光波导包括位于衬底上的水平波导段和连接于水平波导段末端的弯曲波导段。所述方法包括：提供一衬底并在所述衬底上制作平面光波导；所述平面光波导包括...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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