下载一种氢气传感器及其检测系统、制作方法的技术资料

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本发明公开了一种氢气传感器及其检测系统、制作方法,氢气传感器,其包括:基板,所述基板的中部设有一隔离区,所述隔离区将基板分割为第一电极区和第二电极区;其中,所述第一电极区表面溅射有铂膜层,所述第二电极区表面溅射有钨膜层,所述隔离区上设有电解...
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