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基于衬底集成波导和缝隙电容谐振技术的微波传感器,该传感器在衬底集成波导的顶层金属层刻蚀出环形缝隙以等效为电容，并与衬底集成波导中心的金属化通孔等效的电感组成谐振结构，微流道芯片附着在衬底集成波导顶层金属层上。在衬底集成波导的顶层金属层的左右...
该专利属于西南大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南大学授权不得商用。

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