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本发明公开了一种基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法，装置包括偏振环形光照明模块、偏振环形光扫描模块和共焦检偏探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表...
该专利属于南京恒锐精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京恒锐精密仪器有限公司授权不得商用。

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