下载一种用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法及其制得的样品的技术资料

文档序号:24450179

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本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法及其制得的样品,该方法包括以下步骤:将边长或直径小于等于2mm的样品的待测面朝下放置在平整的载体上,所述载体的熔点高于250℃;在样品的两侧放置固定片,固定片的一面...
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