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本实用新型公开了一种基于石墨烯谐振器的平面差分式加速度计装置的设计方案，提出了一种三层结构设计方案：上下两层为设有信号引线的玻璃衬底，中层为差分式石墨烯加速度计结构。中层差分式石墨烯加速度计结构由两个结构相同但反相布置的石墨烯谐振器、两个中...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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