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一种差分自混合干涉测量系统及方法技术方案
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下载一种差分自混合干涉测量系统及方法的技术资料
文档序号:24448767
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本发明公开了一种差分自混合干涉测量系统及方法,该系统由随机偏振激光器发射激光束,形成两束光,一光束通过线偏振器和光衰减器后入射到被安置在载物台的待测物上,光束被待测物反射按原路返回进入随机偏振激光器的谐振腔,形成反馈光束;反馈光束与谐振腔内...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
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