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本发明公开了一种面向等离子体的金刚石膜第一壁及制备方法，将超声波清洗、热电子增强氢/氩等离子体蚀刻纯化处理和金刚石涂层热丝化学气相沉积结合起来，在石墨表面生长抗氢离子蚀刻的金刚石膜，本发明的有益效果在于：金刚石膜相比石墨和低活化马氏体钢，具...该专利属于核工业西南物理研究院;中国地质大学(北京);廊坊西波尔钻石技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院;中国地质大学(北京);廊坊西波尔钻石技术有限公司授权不得商用。