温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种洁净厂房，该洁净厂房包括并排排列且间隔设置的至少两个洁净室，每个洁净室包括依次层叠的回风层、中间层、静压箱，以及用于连通回风层与静压箱的回风夹道。中间层具有带孔楼板与回风层连通，其上部则通过安装在吊顶上的风机过滤单元与静...该专利属于世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司授权不得商用。