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本发明公开一种氮化物催化剂与氮化物催化剂的形成方法，该形成方法包括：将Ru靶材与M靶材置于含氮气的氛围中，其中M为Ni、Co、Fe、Mn、Cr、V、Ti、Cu、或Zn；分别提供功率至Ru靶材与M靶材；提供离子撞击Ru靶材与M靶材，以溅镀沉积...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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