温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种减少在热转变期间对设置在台板上的工件的背面的损坏的系统及方法。所述系统包括控制器，控制器在热转变期间对夹持电压及背面气体压力进行调节。通过对夹持电压进行调节，工件在某些时刻可不紧紧地固持到台板，由此减少可能由驻留在台板的顶表面...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。