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本发明公开了基于衬底SiON波导键合实现模斑转换的方法及模斑转换器，包括：准备硅衬底和SOI晶圆，在所述硅衬底上制作第一凹槽；制作SiO...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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