下载一种新型光栅传感器及其使用方法的技术资料

文档序号:24404855

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本发明涉及一种新型光栅传感器及其使用方法,包括读数头、直角反射光栅,所述直角反射光栅包括N组第一反射结构,每组所述第一反射结构包括相互垂直的平面反射面和反射光栅,所述读数头包括激光源、直角反射镜组、指示光栅、光电探测器、处理器。本发明中激光...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。

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