下载基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准方法及系统的技术资料

文档序号:24404785

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本发明主要涉及长度测量技术领域,提供了一种基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准系统,包括:在空间上可形成任意三棱柱形的3路激光干涉光路,和设置于空间内并与3路激光干涉光路平行的用于波长补偿的第四激光干涉光路,激光器发射的激光光束一部分经分...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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