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本实用新型公开了异质结太阳能电池在线连续镀膜设备，包括：至少一个包括前腔、反应腔、后腔的镀膜工艺室，依次穿过前腔、反应腔、后腔的放置太阳能电池的载板，载板穿过反应腔时速度范围为1‑500mm/s，并在反应腔内设置用于通过等离子体化学气相沉积...
该专利属于苏州迈正科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈正科技有限公司授权不得商用。

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