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浸没式气射流驱动抛光设备及抛光方法技术
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文档序号:24391440
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本发明公开的浸没式气射流驱动抛光设备及抛光方法,抛光设备包括容器,包括工作腔,用于在工作腔中盛放抛光液并在工作时浸没工件和喷嘴;喷嘴,包括喷气口,喷嘴设置于工作腔内并在工作状态下浸没于工件上方的抛光液中,并且由喷气口朝向工件表面形成气射流;...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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