温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基板处理装置，该基板处理装置包括：研磨盘；研磨垫，其配置于研磨盘的上表面；调节器，其包括调节头、以能沿上下方向移动的方式结合于调节头的盘支架、以及安装于盘支架并接触研磨垫的调节盘；厚度测量部，其通过感测部(sensing un...
该专利属于凯斯科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凯斯科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。