下载一种超精密加工装置及检测控制系统的技术资料

文档序号:24391143

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本发明公开了一种超精密加工装置及检测控制系统,所述加工装置包括:基座、加工机构、配重机构,所述加工机构与所述配重机构的质量相等、结构相同,分别设置在所述基座上并以基座的中心线为基准呈镜像对称;所述加工机构包括第一壳体、第一致动器、位移传感器...
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