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一种超精密加工装置及检测控制系统制造方法及图纸
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下载一种超精密加工装置及检测控制系统的技术资料
文档序号:24391143
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本发明公开了一种超精密加工装置及检测控制系统,所述加工装置包括:基座、加工机构、配重机构,所述加工机构与所述配重机构的质量相等、结构相同,分别设置在所述基座上并以基座的中心线为基准呈镜像对称;所述加工机构包括第一壳体、第一致动器、位移传感器...
该专利属于苏州森鼎高端装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州森鼎高端装备有限公司授权不得商用。
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