下载一种可移动真空室分扇区内壁局部顶弯矫正机构的技术资料

文档序号:24389946

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本发明公开了一种可移动真空室分扇区内壁局部顶弯矫正机构,包括支撑底座、导轨、竖直固定系统、导向系统、定位系统、驱动系统和液压系统,所述支撑底座固定设置在真空室分扇区内壁上;所述轨道固定设置在支撑底座上;所述导向系统包括底板和转向体,所述转向...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。

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