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本实用新型提供的一种金属有机化合物化学气相沉积机台，所述压环设置在所述底座的上表面，且位于所述基板的外侧，其中，所述压环具有冷却通道、冷却液入口和冷却液出口，所述冷却通道绕所述压环的轴线设置在所述压环内，所述冷却液入口和冷却液出口均与所述冷...
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