温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种侧放硅片花篮，属于硅片生产设备技术领域。它包括端板、底杆、侧板，两块平行的端板底部之间通过两根底杆连接固定，端板两侧分别固定有一块侧板，所述侧板一面设有多个用于放置硅片的齿槽，两块侧板呈倒八字型固定在两块端板之间，两块侧...
该专利属于上海嘉氟新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海嘉氟新材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。