下载晶圆映射传感器的安装机构的技术资料

文档序号:24366486

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本实用新型涉及半导体附属设备领域,提供晶圆映射传感器的安装机构。该安装机构包括:轴承座组件,包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔;推板,推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽;驱动机构,驱动机构与推板连接;滑块,...
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