下载波导片及光电变换装置的技术资料

文档序号:24365860

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本发明的波导片是取入所入射的入射光并在内部沿与入射光的入射方向交叉的方向引导光的波导片,具备:低折射率层;透光层,与低折射率层层叠,折射率比低折射率层高;以及衍射光栅,形成在透光层上,改变入射光的行进方向。衍射光栅的图样被分割为多个部分图样...
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