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中阶梯光栅复用器或解复用器制造技术
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文档序号:24365857
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在一个示例实施方式中,集成硅光子波分解复用器包括输入波导、输入端口、多个输出波导、多个输出端口、第一辅助波导和多个辅助波导。输入波导可以形成在第一层中并且具有第一有效折射率n1。输入端口可以光学地耦合至输入波导。输出波导可以形成在第一层中并...
该专利属于菲尼萨公司所有,仅供学习研究参考,未经过菲尼萨公司授权不得商用。
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