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本发明提供了压电MEMS麦克风及压电MEMS麦克风的制备方法,压电MEMS麦克风包括若干个压电MEMS单元，压电MEMS单元包括基底、支撑件和膜片结构，基底包括围成收容腔的环形周壁，支撑件包括设于收容腔并与周壁间隔设置的悬置支撑部及自周壁延...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。

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