下载一种基于氧化铪转变层的银插层选通器件及其制造方法的技术资料

文档序号:24359450

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本发明公开了一种基于氧化铪转变层的银插层选通器件及其制造方法,属于微电子技术领域。本发明的选通器件从下至上依次包括底电极层、转变层、银插层和顶电极层;其中:所述底电极材料为氮化钛、钛或铂中的任一种,所述转变层材料为氧化铪薄膜,所述顶电极材料...
该专利属于湖北大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北大学授权不得商用。

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