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本案提供一种致动传感模块，由致动装置、第一基板、阀片层、第二基板依序堆叠构成。第一基板包含进气通道、排气通道、进气口及排气口，第二基板开设一贯穿槽。阀片层设置于第一基板及第二基板之间，使其进气阀及排气阀分别封闭隔绝进气通道及排气通道。致动装...
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