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一种元素与缺陷的激光光声复合非接触检测系统技术方案
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文档序号:24358420
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本实用新型属于激光材料检测领域,公开了一种元素与缺陷的激光光声复合非接触检测系统,包括脉冲激光器、光谱探测单元、超声波探测单元、样品台单元以及分析控制单元,其中,光谱探测单元用于对等离子体发射的可见光光谱进行探测,以获得关于待分析样品中元素...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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