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本实用新型公开了一种低温等离子UV光解一体化设备，包括喷淋区、干燥区、等离子处理区、UV光束处理区和基板，所述喷淋区、干燥区、等离子处理区和UV光束处理区从左至右对应设置于基板的上部，所述干燥区的远离喷淋区的一端安装有干燥器，所述干燥器的另...
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