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本发明属于半导体制程中涂胶显影领域，具体地说是一种中空旋转平台装置，包括单元平台、轴承组件、中空轴、chuck、锥齿轮A、锥齿轮B及电机，中空轴通过轴承组件转动安装于单元平台上，中空轴的一端与chuck相连，另一端与负压源连接；电机安装于单...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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