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本发明属于材料表面改性技术领域，特别涉及一种类金刚石保护性涂层及其制备方法。本发明提供的类金刚石保护性涂层的制备方法，包括以下步骤：采用空心阴极放电等离子体化学气相沉积技术在基体表面依次沉积硅掺杂类金刚石底层和类金刚石层。本发明首先采用空心...
该专利属于上海新弧源涂层技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新弧源涂层技术有限公司授权不得商用。

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