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具有厚度沿晶体管宽度变化的半导体层的高电子迁移率晶体管制造技术
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下载具有厚度沿晶体管宽度变化的半导体层的高电子迁移率晶体管的技术资料
文档序号:24335139
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一种高电子迁移率晶体管(HEMT)包括半导体结构,该半导体结构包括形成异质结的覆盖层(101)和沟道层(102),使得在覆盖层和沟道层的界面处形成二维电子气。HEMT还包括一组电极,该组电极包括沉积在覆盖层上的源极(110)、漏极(120)...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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