下载具有平面III-N半导体层的半导体装置和制造方法的技术资料

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一种具有平面III‑N半导体层的半导体装置,其包含衬底,所述衬底包含晶片(101)和与所述晶片的材料不同的缓冲材料的缓冲层(102),所述缓冲层具有生长表面(1021);从所述生长表面外延生长的纳米结构(1010)阵列;由在高温T下聚结所述...
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