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检测透明/半透明材料缺陷的方法、装置及系统制造方法及图纸
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下载检测透明/半透明材料缺陷的方法、装置及系统的技术资料
文档序号:24334924
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一种检测透明/半透明材料缺陷的方法,包括:根据预设的采样配置确定一个或一个以上的采样点位置;控制相干光光源(10)生成相干光光束照射采样点,所述相干光光束在检测时照射层状检材的采样点位置;通过感光元件(30)采集所述相干光光束照射检材后反射...
该专利属于合刃科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合刃科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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