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下载成膜方法的技术资料

文档序号:24334824

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本发明提供一种能够在基材的表面形成具有比该基材的硬度高的高度的皮膜并使该皮膜良好地紧贴于基材的表面的成膜方法。该成膜方法包括以下步骤:使通过一边在收容基材的腔室内导入惰性气体一边放电而生成的惰性气体离子冲撞于基材的表面,从而对基材的表面进行...
该专利属于株式会社神户制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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