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声波谐振器制造技术
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下载声波谐振器的技术资料
文档序号:24333651
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本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。
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