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本发明提供一种砷化镓电池外延结构及其制备方法。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层，沿远离衬底的方向，牺牲层和电池层依次叠置，牺牲层能通过湿法腐蚀辅助衬底与电池层分离，牺牲层从边缘区域向中心区域厚度逐渐降低。该砷化镓电...
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