下载一种双向散热的纵向氮化镓功率晶体管及其制备方法的技术资料

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本发明的一种双向散热的纵向氮化镓功率晶体管及其制备方法,属于晶体管制备技术领域。所述的晶体管的结构有硅衬底(1)、导电缓冲层(2)、GaN漂移层(3)、p‑GaN电子阻挡层(4)、GaN沟道层(5)、AlGaN薄势垒层(6)、SiN介质层(...
该专利属于中山大学;吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学;吉林大学授权不得商用。

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