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顶电极互连结构制造技术
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下载顶电极互连结构的技术资料
文档序号:24333004
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本公开涉及半导体结构,更具体地,顶电极互连结构以及制造方法。该结构包括:下金属化特征;上金属化特征;与下金属化特征直接接触的底电极;位于底电极之上的一种或多种开关材料;位于一种或多种开关材料之上的顶电极;以及与顶电极和上金属化特征接触的自对...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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