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一种集成线性角度传感器的微镜制造技术
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文档序号:24329962
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本发明涉及微纳光学器件技术领域,具体涉及一种集成线性角度传感器的微镜,包括基座、角度传感器、反射镜元件,所述基座是四周边框包围底部形成的凹槽状结构,所述反射镜元件为平面结构,所述基座与反射镜元件连接形成具有中空结构的盒体,所述盒体的中空结构...
该专利属于西安知象光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安知象光电科技有限公司授权不得商用。
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