下载一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:24329398

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本发明公开了一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法,所述传感器包括:依次设置的柔性基底薄膜、柔弹性聚合物薄膜、导电薄膜、微/纳米棒阵列;所述微/纳米棒阵列中的微/纳米棒的弹性模量大于所述柔弹性聚合物薄膜的弹性模量。由于在气流形成的外力作用下...
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