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本实用新型公开了一种硅片导载装置，包括梳齿片和插板，所述插板上等距离设置有若干插槽，所述梳齿片一端插入所述插槽内，相邻梳齿片之间形成让位槽，所述插板一侧面设有贯通所述插槽的锁紧螺纹孔，锁紧螺钉通过锁紧螺纹孔抵接梳齿片，以固定所述梳齿片，所述...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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