下载一种紫外级氟化钙原料的烧结装置及工艺的技术资料

文档序号:24325789

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本发明属于新材料领域,具体涉及一种紫外级氟化钙原料的烧结装置及工艺,包括用于放置氟化钙原料的坩埚、设置于坩埚外侧的加热器、设置于加热器外侧的保温装置以及坩埚下降炉,所述坩埚包括用于盛放氟化钙原料的坩埚主体、设置于坩埚主体顶部用于防止生长过程...
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