下载一种空气流量可调的低温等离子体处理装置的技术资料

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本实用新型属于等离子体处理装置领域,尤其是一种空气流量可调的低温等离子体处理装置,针对现有的低温等离子体处理装置在使用时,不便于对空气流量进行调节的问题,现提出如下方案,其包括反应室,所述反应室内侧设置有第一电极板和第二电极板,第二电极板上...
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