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本实用新型公开了一种OLED蒸镀设备的真空系统，包括一个真空腔体及若干蒸发源，所述真空腔体通过真空插板阀与蒸发源连通，真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的真空管路与真空泵连接，每一真空管路上均设有真空角阀；真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的氮...
该专利属于江苏壹光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏壹光科技有限公司授权不得商用。

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