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本实用新型涉及加热炉附属装置技术领域，且公开了一种硅片加热炉反应液的冷却系统箱，包括箱体内部控制器，所述箱体内部控制器正面的中部固定连接有调控开关，所述箱体内部控制器正面的上部固定连接有显示屏幕。该硅片加热炉反应液的冷却系统箱，通过水泵将其...
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