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本发明提供一种微机械压电式圆盘谐振器，包括压电式器件及底部支撑结构，压电式器件包括顶部输入电极、底部接地电极以及设于顶部输入电极和底部接地电极之间的压电振动层；底部支撑结构包括基底及固定于底部接地电极底部中心位置与基底与之间的支撑锚，支撑锚...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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