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本发明公开了一种基于纳米颗粒填充工艺的微型化电感制作方法和电感，包括：精密磁心的制作工艺；三维互联通道刻蚀及填充；双面互联结构的制作工艺等。本发明采用微电子的工艺实现了带磁心的三维电感器件，实现小型化电感器件的同时，保留了较高的电感量，解决...
该专利属于电子科技大学;厦门云天半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学;厦门云天半导体科技有限公司授权不得商用。

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