下载一种硅料烘干装置的技术资料

文档序号:24288775

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本发明提供一种硅料烘干装置,其包括:壳体、设置于壳体内部的多个热风循环烘干工位和多个冷风循环冷却工位、转运系统,以及控制系统;控制系统内预设有控制指令;转运系统与控制系统电连接,用于接收控制系统发出的控制指令,并按照控制指令将装有硅料的料篮...
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