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一种具有微装配力传感器的真空吸附夹持器系统技术方案
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下载一种具有微装配力传感器的真空吸附夹持器系统的技术资料
文档序号:24286730
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本发明公开了一种具有微装配力传感器的真空吸附夹持器系统,包括真空吸附夹持器、气路装置、微装配力传感器、信号调理电路、夹持装配控制器和位移台;真空吸附夹持器包括吸附夹持头、柔性梁和气管,柔性梁上加工有平行四边形柔性机构,平行四边形柔性机构具有...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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